压电/电致伸缩微位移器件与应用（下）
日期：2021-05-17
摘要：本文介绍了压电/电致伸缩微位移器件在各领域中的应用，认为了其在亚微米级技术领域中将发挥重要作用。
作者：蔡鹤皋； 孙立宁； 安辉
来源（出处）：高技术通讯，High Technology Letters，1994，（6） ：37-40
发表日期： 1994年6月28日
